常用的ITO表面处理方法有超声波抛光、超声波清洗、机械抛光处理、酸碱处理、等离子处理及以上各种方法的结合。在进行表面处理之前，要对ITO基片进行清洗，依次用去离子水、丙酮、无水醇超声清洗各30分钟后，再用纯氮气吹干。下面详细说明各种表面处理方法。 3.1旭达超声 ITO表面处理方法 固体表面的结构和组成都与内部不同，处于表面的原子或离子表现为配位上的不饱和性，这是由于形成固体表面时被切断的化学键造成的。正是由于这一原因，固体表面极易吸附外来原子，使表面产生污染。因环境空气中存在大量水份，所以水是固体表面最常见的污染物。由于金属氧化物表面被切断的化学键为离子键或强极性键，易与极性很强的水分子结合，因此，绝大多数金属氧化物的清洁表面，都是被水吸附污染了的。在多数情况下，水在金属氧化物表面最终解离吸附生成OH-及H+，其吸附中心分别为表面金属离子以及氧离子。 根据酸碱理论，M+是酸中心，O-是碱中心，此时水解离吸附是在一对酸碱中心进行的。在对ITO表面的水进行解离之后，再使用酸碱处理ITO金属氧化物表面时，酸中的H+、碱中的OH-分别被碱中心和酸中心吸附，形成一层偶极层，因而改变了ITO表面的功函数。 3.2 等离子体处理 等离子体通常使用图3所示的设备进行工作。将基片放在底座上，在真空系统中通入不同的混合气体，并在金属电极上家射频电压将气体电离，形成等离子体，以非常快的速度轰击ITO基片。为了形成较均匀的电场，电极采用金属栅网结构。等离子体的作用通常是改变表面粗糙度和提高功函数。研究发现，等离子作用对表面粗糙度的影响不大，只能使ITO的均方根粗糙度从1.8nm降到1.6nm，但对功函数的影响却较大。用等离子体处理提高功函数的方法也不尽相同。氧等离子处理是通过补充ITO表面的氧空位来提高表面氧含量的。氧同表面有机污染物反应生成CO2和H2O，去除了表面有机污染物。SF6通过在ITO表面形成一层含氟层来提高表面功函数，对粗糙度的改变不明显。Ar等离子处理是通过除区在装载基片过程中吸附的氧来清洁ITO表面的。 3.3 机械抛光 用大量Al2O3微粉状喷丸流高速喷向ITO表面，借助其动能将表面层的微观凸起部位削平或压平，以实现抛光的目的。此法操作简单，表面微观型貌良好，无方向性，主要用于清除表面积污、微观凸起及较浅线条，并具有强化表面的作用。但表面粗糙度仅能在原有基础上略有改善。S。Jung等人发现，通过先抛光后退火对ITO进行预处理，可改善表面粗糙度及氧含量，使用有机层同ITO接触界面更加光滑，OLED器件的发光效率和注入电流均提高了10倍左右，ITO表面的TPD层结晶状况也有所改变。 3.4 紫外臭氧处理 在真空室中安装波长为253.7nm的低压水银灯，将臭氧发生器和光解臭氧的紫外灯管放在内贴反光铝薄膜的圆筒内，以提高光能利用率。将3400V高电压加在臭氧发生器玻璃管外的金属网和管内芯柱所构成的两个放电电极，当真空室通过氧气时，流经金属网的部分氧分子分解成氧原子，并与其他氧分子碰撞产生臭氧分子。通过紫外线直接对有机物作用使有机物分解，这样不仅在表面形成了一层富氧层，而且去除了表面的碳污染。各种表面处理方法的比较如表1所示。 表 1 各种表面处理方法的比较 表面处理方法 面阻（Ω/□） 功函数（eV） 表面粗糙度（nm） 未处理 16.1 4.5 2.6 机械抛光 16.3 4.2 2.3 Ar等离子体 16.7/17.3/17.0 4.5 10.9/15.4/23.0 氧等离子体 16.4/15.0/16.4 4.35/4.75/4.65 1.4/1.4/2.1 王水 18.5/23.5/28.6 4.6/4.3/4.7 3.8/8.4/8.8 王水/氧等离子体 27.7 4.6 6.0 氧等离子体/王水 >30.0 4.7 1.8 HCL 26.3 4.54 1.3 4 结束语 通过上面的对比发现，使用机械抛光法能得到最光滑的ITO表面，氧等离子体处理能得到功函数最高的ITO表面，UV臭氧处理的ITO表面电阻率最低。只有通过结合使用多种方法才能得到最佳性能的ITO表面 销售部：蒋 涛 /工程师 手 机：13088890000 电 话：0755-27646704 传 真：0755-81792407 地 址：深圳市、宝安区、石岩镇、光明路、华厦园工业区A幢 网址：www.sundail.com.cn 深圳市旭达超声有限公司关联词: 超声波|超声波设备|深圳超声设备|超声|深圳旭达超声|超声波|超声波清洗机|超声波塑焊机|超声波设备|超声|深圳超声波|深圳超声|深圳超声,超声波设备,超声波清洗机,超声波塑焊机,塑焊机,清洗机|松香清洗机||助焊剂清洗机||线路板清洗机||线路板清洗||深圳松香清洗机|线路板清洗机|<旭达超声是国内大型超声波设备生产企业,同行业率先通过ISO9001:2000质量体系认证,主要生产超声波清洗机,旭达,超声,超声设备,超声波塑料焊接机,超声波,超声波清洗机,超声波焊接机,超声波设备,深圳超声,超声波设备,超声波清洗机,超声波塑焊机,塑焊机,清洗机旭达超声,旭达,超声,超声设备,超声波 ,超声波清洗机,超声波塑焊机,塑焊机,清洗机超声波清洗机 超声波清洗设备 超声波焊接机 超声波电源 超声波发生器 脉冲电源 电镀电源生产、销售超声波清洗机(超声波清洗器)、超声波清洗线、超声波清洗机电源、超声波振动筛电源、超声波焊接机电源、脉冲电源(电镀电源) 超声波清洗机|超声波塑料焊接机|广州超声波|中国超声波设备|顺德超声波清洗机||宝安超声波清洗机|宝安超声波||石岩超声波|深圳超声波|深圳超声波清洗机|广东超声波|深圳超声波清洗机|北京超声波|佛山超声波清洗机|武汉超声波|湖北超声波清洗机|四川超声波|深圳超声波清洗机||湖北超声波清洗机|湖南超声波|杭州超声波清洗机|惠州超声波|东莞超声波清洗机|河南超声波|汕头超声波清洗机深圳超声|超声波|超声波清洗机|超声波塑焊机|超声波设备|超声|深圳超声波|深圳超声|深圳超声,超声波设备,超声波清洗机,超声波塑焊机,塑焊机,清洗机/超声波清洗机,旭达,超声,超声设备,超声波塑料焊接机,超声波,超声波清洗机,超声波焊接机,超声波设备,深圳超声,超声波设备,超声波清洗机,超声波塑焊机,塑焊机,清洗机超声,超声,超声设备,超声波,超声波清洗机,超声波焊接机,超声波设备,超声波塑料焊接机,深圳超声波,深圳超声,超声波设备,超声波清洗机,超声波塑焊机,塑焊机,清洗机超声波,超声波清洗机，清洗机，杭州超声波清洗机，宁波超声波清洗机，苏州超声波清洗机，清洗设备，天津超声波清洗机，大连超声波清洗机，西安超声波清洗机，青岛超声波清洗机，烟台超声波清洗机，杭州超声波，清洗设备，杭州超声波清洗设备，超声波设备,杭州超声波清洗设备，超音波清洗机，杭州超音波清洗机，苏州超声波清洗设备，清洗设备，西安清洗机，清洗设备，济南超声波清洗机,济南超声波,天津超声波清洗机,沈阳超声波清洗机,天津超声波清洗，沈阳超声波清洗机，沈阳超声波，济南超声波清洗机，济南超声波，威海超声波清洗机，威海超声波，西安超声波，成都超声波清洗机，成都超声波，昆山超声波清洗机，昆山超声波清洗设备，昆山超声波,吴江超声波清洗机,常熟超声波清洗机,张家港超声波清洗机,无锡超声波清洗机,常州超声波清洗机,南京超声波清洗机,镇江超声波清洗机,江苏超声波清洗机,浙江超声波清洗机,山东超声波清洗机,武汉超声波清洗机,南昌超声波清洗机,安微超声波清洗机.电子设备,化工设备,五金